- Vienos/dvi durys
Rėmas ir kamera pagaminti iš anglinio nerūdijančio plieno.
Kiekvienose duryse yra apžiūros langas, skirtas vizualiai kontroliuoti procesą.Durų sienelėse yra nerūdijančio plieno pamušalas, kurį lengva nuimti techninei priežiūrai.
- Individualizuota vakuuminė kamera
Kameroje yra vidiniai nerūdijančio plieno įdėklai, kuriuos lengva nuimti valymui.
Siurbliai stovi ant galinės jo dalies.
Kameroje yra keletas mažų flanšų, skirtų matavimui.
- Aukšto vakuumo siurbimo sistema
Difuzinis siurblys + stiprintuvas + mechaninis siurblys
-Vakuuminis matavimas ir kontrolė
Su metaliniu Pirani matuokliu+metaliniu jonizacijos matuokliu
- Tvirtinimo perkėlimo sistema
- PLC valdymo blokas
-Aliuminio garinimo sistema su didelės galios transformatoriumi
- Geležinis rėmas
Struktūra yra pagrįsta
Plėvelės sluoksnis yra vienodas
Plėvelės formavimo kokybė
Didelis siurbimo greitis, trumpas darbo ciklas ir didelis gamybos efektyvumas
Eksploatacija yra patogi
Mažas energijos suvartojimas ir stabilus veikimas
Modelio numeris | EV-1000 | EV-1200 | EV-1400 | EV-1800 | EV-2000 | Galimas dviejų durų arba dviejų kamerų modelis | |
Vakuuminės kameros matmenys (skersmuo * aukštis) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 | ||
Vakuuminės kameros medžiaga | Anglies plienas, SUS304 arba SUS316L | ||||||
Darbo technologija | Vakuuminis atsparus garinimas su volframo ir aliuminio gijomis, didelės galios garinimo transformatorius | ||||||
Siurbimo sistema | Difuzinis siurblys+mechaniniai siurbliai, stiprintuvas | ||||||
Siurbimo laikas | Nuo atmosferos iki 5,0*10-2Pa mažiau nei 8 minutes | ||||||
Vakuumo riba | 5,0*10-4 Pa | ||||||
Darbinė temperatūra | Kambario temperatūra | ||||||
Darbo režimas | Automatinis arba rankinis režimas, 10,4 colio PLC jutiklinis ekranas | ||||||
Bendra galia | 40-80kW | 70-140kW | |||||
Pėdsakas | 2*2 metrai | 2*3 metrai | 3*3 metrai | 3*3 metrai | 3*4 metrai | 4*5 metrai | 5*6 metrai |
Šiuos vienetus galite pagaminti pagal užsakymą | 1. Vakuuminės kameros dydis 2. Siurblių konfigūracijos | ||||||
Pasirenkami instrumentai | 1. Nuotėkio detektorius 3. Lankinio jonų nusodinimo sistema 4. Magntron purškimo sistema |