Vakuuminio magnetrono purškimo technika yra moteriško, dvipolio elektrodo paviršiaus panaudojimas su elektrono magnetiniu lauku katodo paviršiaus dreifoje, nustatant tikslinio paviršiaus elektrinį lauką statmenai magnetiniam laukui, elektronas padidina eigą, padidina jonizacijos greitį. dujų, o didelės energijos dalelės dujuojasi ir po susidūrimo praranda energiją ir taip sumažina pagrindo temperatūrą, užbaikite padengimą ant temperatūrai neatsparios medžiagos.