Inline purškimo sistema
-
Inline Magnetron Sputtering sistema
Inline Magnetron Sputtering sistema yra tam tikra vakuuminio plonasluoksnio nusodinimo įranga, kuri veikia įvairiems tikslams.Dažniausiai naudojami mūsų purškimo linijos pritaikymai, įskaitant:
Aliuminio veidrodžių gamyba
- ITO stiklo danga
- Antirefleksinis stiklas
- Dekoratyvinės dangos nerūdijančiam plienui ir stiklui
Ši dangų sistema tinka aukštos klasės vakuuminiam dengimui.Jis užtikrina stabilų darbo našumą, kad pagerintų vakuuminės dangos plėvelių kokybę.
-
ITO stiklo magnetrono purškimo dangos linija
ITO stiklo magnetroninio purškimo dangos linija naudoja vakuuminio magnetroninio purškimo technologiją ir nesubalansuotą magnetrono purškimo technologiją, kad padengtų aukštos kokybės flotacinį stiklą SO2/ITO sluoksniu.Remiantis tarptautine pažangia valdymo sistema.Visas gamybos procesas vyksta automatiškai ir nuolat.
-
Aliuminio veidrodžio linijinė magnetroninė purškimo linija
Aliuminio veidrodžio linijinė magnetroninė purškimo linija yra skirta didelio našumo stiklo veidrodžių gamybai.Norint padengti didesnį stiklą ir rūpintis trapiu stiklo plokšte, ypač didelio dydžio lakštams, dažniausiai gaminame horizontalaus tipo purškimo liniją.Tai ištisinė magnetrono dangos linija su priekine ir galine grubiąja siurbimo kamera, o po pereinamosios kameros, prieš ir po smulkios siurbimo kameros, buferio kamera, spalvinimo patalpa.
Tikslinė konstrukcija: cilindriniai magnetroniniai dulkinimo katodai ir (arba) plokštieji katodai.
Maitinimo šaltinis: maitinimo šaltinis su didelės galios nuolatinės srovės arba MF magnetrono purškimu
Pavaros sistema: ritininė pavara, reguliuojamo dažnio, indukcinio tipo patalpų durų atidarymo sistema.
Vakuuminė sistema: difuzinis siurblys (arba turbo molekulinis siurblys) + šaknų siurblys + mechaninis siurblys
