Aliuminio veidrodžio linijinė magnetroninė purškimo linija
Trumpas aprašymas:
Aliuminio veidrodžio linijinė magnetroninė purškimo linija yra skirta didelio našumo stiklo veidrodžių gamybai.Norint padengti didesnį stiklą ir rūpintis trapiu stiklo plokšte, ypač didelio dydžio lakštams, dažniausiai gaminame horizontalaus tipo purškimo liniją.Tai ištisinė magnetrono dangos linija su priekine ir galine grubiąja siurbimo kamera, o po pereinamosios kameros, prieš ir po smulkios siurbimo kameros, buferio kamera, spalvinimo patalpa.
Tikslinė konstrukcija: cilindriniai magnetroniniai dulkinimo katodai ir (arba) plokštieji katodai.
Maitinimo šaltinis: maitinimo šaltinis su didelės galios nuolatinės srovės arba MF magnetrono purškimu
Pavaros sistema: ritininė pavara, reguliuojamo dažnio, indukcinio tipo patalpų durų atidarymo sistema.
Aliuminio veidrodinio vidinio magnetinio purškimo linija paprastai būna su keliomis vakuuminėmis kameromis, kad būtų galima užpildyti vakuuminę dangą ant stiklo lakštų.
Pagrindinės funkcijos:
1.Max.stiklo dangos dydis: 2440x3660mm arba pritaikytas
2. Galimos kelių vakuuminės kameros ir kelių purškimo kamerų dizainas
3. Horizontali magnetinė valdymo linija turi vieno galo ir dviejų galų struktūrą;Stiklo dvigubas valymas, dengimas, aptikimas, dažymas, džiovinimas, aušinimas gali būti baigti vienu metu
4. Purškimo dangos linija naudoja PLC visam procesui valdyti ir turi spalvotą ekraną, kad būtų rodomi dengimo proceso duomenys
Dangų sluoksnis: titanas, chromas, nerūdijantis plienas, aliuminis, sidabras, varis ir kt.
Junginys: TiN, TiO2 ir kt.
Sluoksnio storis: 5-100nm
Perdavimas: 8-40% esant 380-780 nm bangos ilgiams
Nusodinimo temperatūra: kambario temperatūra
Galutinis slėgis po 8 valandų išsiurbimo:
Įėjimo užrakto kamera ir vakuuminė užrakto kamera: 5 × 10-1 Pa arba mažiau
Buferio kamera 1: 3 × 10-3 Pa arba mažesnė
Purškimo kamera: 2 × 10-3 Pa arba mažesnė
Buferio kamera 2: 3 × 10-3 Pa arba mažesnė
Išėjimo užrakto kamera ir vakuuminė užrakto kamera: 5 × 10-1 Pa arba mažiau