Inline Magnetron Sputtering sistema
Inline magnetroninio purškimo dangos mašina daugiausia yra nuolatinės srovės (arba MF) magnetroninė purškimo danga gali būti pritaikyta įvairiems tikslams, tokiems kaip: varis, titanas, chromas, nerūdijantis plienas, nikelis ir kitos metalinės medžiagos, kurios gali būti padengtos naudojant purškimo procesą. gali pagerinti plėvelės sukibimą, atkuriamumą, tankį, vienodumą ir kitas savybes.
- a.Pagrindinės charakteristikos ir parametrai
- b.horizontalios linijos struktūra gali būti realizuota vienu metu padengta vienoje pusėje
- c.gamybos efektyvumas, didžiausias greitis iki 1 min/t
- d.modulinė konstrukcija, lengva priežiūra
- e.dengimo proceso branda, didelis derlius
- f.Nuolatinės srovės magnetrono purškimo katodai gali skirtis priklausomai nuo kliento reikalavimų
- g.vakuuminę sistemą sudaro mechaninis siurblys, Roots siurbliai, difuziniai siurbliai (molekulinis siurblys) Sudėtis
- h.Linijos korpuso dydis gali skirtis priklausomai nuo kliento reikalavimų
- 1) Vakuuminės kameros korpuso medžiagos buvo naudojamos SUS304, poliruojant vakuuminės kameros sieneles, apdorojant išorinės sienos purškimo poliravimo granules.
- 2) Naudojant nepriklausomą sklendę tarp vakuuminės kameros ir sklendės vožtuvo, galima efektyviai atjungti ir stabilizuoti proceso dujas.Šiuo metu mūsų įmonė naudoja sklendės vožtuvo konstrukciją, ji sandaresnė, patvaresnė nei dabartinis buitinis bendras sklendės vožtuvas.
- 3) Transmisija naudoja magnetinį kreiptuvą, apsaugo pavaros stabilumą.Kiekvienam visos gamybos linijos greičiui naudojant VVVF variklio pavarą galima reguliuoti važiavimo greitį.
- 4) Elektrinė valdymo sistema: jutiklinis ekranas ir PLC automatinis valdymas, žmogaus ir mašinos dialogas, kad būtų pasiekta duomenų rodymo sistema, veikimo parametrai ir valdymo technologija
- 1) Galutinis vakuuminis slėgis: 6 × 1 0E-4 Pa
- 2) vidutinis gamybos ciklas: pagal nustatytą produktą
- 3) Substrato laikiklio dydis: gali būti pritaikytas pagal reikalavimus
- 4) Plėvelės vienodumas: ± 3% pažangi mobiliojo lauko technologija labai pagerino tikslinį panaudojimą
- Segmentinis šildytuvo dizainas yra palankus proceso optimizavimui.
Parašykite savo žinutę čia ir atsiųskite mums
